コーティング受託加工実績

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コーティングの種類

コーティング経験元素周期表

当社では、イオンプレーティング部発足以来、お客様にご満足いただけるイオンプレーティングや真空蒸着による表面処理を目指し“受託薄膜加工一筋”で営業しております。
単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜(積層膜)と様々な膜種に実績を残してまいりました。豊富な経験と確かな薄膜技術の東邦化研へお任せ下さい。
下の周期表は、過去経験のある膜種に含まれる元素を色づけ(青)したものです。
未経験膜種に関しましても“トライ”してまいりますので、是非ご相談下さい。(実施後、下表に追加されます)
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1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18
1 H He
2 Li Be B C*1 N*1 O*1 F*1 Ne
3 Na Mg Al Si P S Cl Ar
4 K Ca Sc Ti V Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn Ga Ge As Se Br Kr
5 Rb Sr Y Zr Nb Mo Tc Ru Rh Pd Ag Cd In Sn Sb Te I Xe
6 Cs Ba *2 Hf Ta W Re Os Ir Pt Au Hg Tl Pb Bi Po At Rn
7 Fr Ra *3 Rf Db Sg Bh Hs Mt Ds Rg Uub Uut Uug Uup Uuh Uus Uuo

*1:炭化物、窒化物、酸化物、フッ化物に含まれます。

*2:ランタノイド  La Ce Pr Nd Pm Sm Eu Gd Tb Dy Ho Er Tm Yb Lu
*3:アクチノイド  Ac Th Pa U Np Pu Am Cm Bk Cf Es Fm Md No Lr
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コーティング種類代表例

炭化膜、窒化膜、酸化膜、フッ化膜の場合

金属物質を蒸発させ、反応させながら膜をコーティングする、もしくは炭化物、窒化物、酸化物材料を蒸発させて成膜することが可能です。

  • 炭化膜…TiC、SiC、BC、WC、他
  • 窒化膜…TiN、SiN、CrN、BN、AIN、CN、他
  • 酸化膜…TiO2、SiO2、Ta2O5、Al2O3、Y2O3、他
  • フッ化膜…MgF2、他
  • その他…BCN、他

合金膜の場合

2つ、もしくは3つの金属材料を蒸発させて成膜する、もしくは合金材料を蒸発させて成膜できます。

  • 二源蒸発…Au+Sn、Ag+Sn、他
  • 合金蒸発…インコネル600、他
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コーティングの対象物-金属・樹脂・フィルム・セラミックス

多くのお客様より、様々なもの(薄膜を施す対象物)へのご依頼を頂き、これにお答えしてまいりました。
その一部ではありますが、代表例を下記にまとめております。

薄膜対象物代表例

金属の場合

金属への多くはイオンプレーティング法にて成膜いたします。ただし、樹脂などが既に成膜してあり、温度を極力かけたくない場合などは蒸着にて行うこともあります。

  • SUS材、Al材、Mg材、Ti材、等

樹脂・フィルムの場合

樹脂の種類や対象物の耐熱温度、表面状態などにより成膜方法を選択いたします。

  • PC、PET、PEN、PI、等

セラミックスの場合

セラミックスへの多くはイオンプレーティング法にて成膜いたします。ただし、樹脂などが既に成膜して有り、温度を極力かけたくない場合などは蒸着にて行うことも有ります。

  • Al2O3、SiC、AlN、ZrO2、等,
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コーティング例:パターニング・厚膜コーティング・フィルム、ネジ、ガラスへのコーティング例

成膜例の一部を載せております。こんなふうにはできないの?こんなものにはできないの?等、気軽にお問い合わせ下さい。
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パターニング

ガラスへパターニング成膜を施したもの

パターニング成膜部分拡大図 Designe St.:0.100mm±0.03mm Pattern Width:0.105mm 左の写真はパターニングしたものです。Maskを設計製作し使用することで、パターニングすることが可能です。成膜対象物の材質やMask材質によっても精度は変わってきますのでお問い合わせ下さい。

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厚膜コーティング

厚膜コーティング成膜

左の写真は、SEMで観察した金属膜の断面像です。
(加速電圧15KV、倍率×2000倍)
膜種や成膜する対象物の表面粗さや耐熱温度にもよりますが、厚膜は可能です。
過去の経験では、Al、Ag、Sn、Inなど単金属で、10μm以上を成膜した例も有ります。
また、Alでは20μmを超えるものもあります。酸化膜でも5μm以上の膜をコーティングした経験があります。

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樹脂・フィルムへのコーティング

フィルムへのコーティング成膜

左の写真はフィルムに成膜したものです。
(膜種や厚みにもよりますが、曲げても剥がれたり、割れたりしません)
真空蒸着によって成膜することで、より低温での処理ができます。
膜種や厚みにもよりますが、100℃以下でのコーティングができます。PC、合成樹脂やPET、PEN、Pl等フィルムなどに成膜可能です。
その際の付着力は、樹脂の成型の仕方や表面状態、樹脂の種類などによって変わります。

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立体物へのコーティング

ネジへのコーティング

左の写真はネジの全面(一部Mask)、段差のある面に膜を成膜したものです。
コーティングする角度や方式によって立体物への成膜が可能です。
コーティング対象物をうまく真空チャンバー内で動かすことで良好な付き廻りを得ることができます。
また、全面への成膜も可能ですので、是非お問い合せ下さい。

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大面積へのコーティング

大きなガラスへのコーティング成膜

左の写真は大板ガラスに膜をコーティングしたものです。
(ガラスのサイズ:900×580)
最大で、800×1000の平面エリアに成膜できます。
この装置はインライン方式ですので、一日である程度まとまった数量を成膜できます。ただし、この装置では製品形状に制限が有りますので、お問い合せ下さい。

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