コーティング経験元素周期表
当社では、イオンプレーティング部発足以来、お客様にご満足いただけるイオンプレーティングや真空蒸着による表面処理を目指し“受託薄膜加工一筋”で営業しております。
単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜(積層膜)と様々な膜種に実績を残してまいりました。豊富な経験と確かな薄膜技術の東邦化研へお任せ下さい。
下の周期表は、過去経験のある膜種に含まれる元素を色づけ(青)したものです。
未経験膜種に関しましても“トライ”してまいりますので、是非ご相談下さい。(実施後、下表に追加されます)
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1 | H | He | ||||||||||||||||
2 | Li | Be | B | C*1 | N*1 | O*1 | F*1 | Ne | ||||||||||
3 | Na | Mg | Al | Si | P | S | Cl | Ar | ||||||||||
4 | K | Ca | Sc | Ti | V | Cr | Mn | Fe | Co | Ni | Cu | Zn | Ga | Ge | As | Se | Br | Kr |
5 | Rb | Sr | Y | Zr | Nb | Mo | Tc | Ru | Rh | Pd | Ag | Cd | In | Sn | Sb | Te | I | Xe |
6 | Cs | Ba | *2 | Hf | Ta | W | Re | Os | Ir | Pt | Au | Hg | Tl | Pb | Bi | Po | At | Rn |
7 | Fr | Ra | *3 | Rf | Db | Sg | Bh | Hs | Mt | Ds | Rg | Uub | Uut | Uug | Uup | Uuh | Uus | Uuo |
*1:炭化物、窒化物、酸化物、フッ化物に含まれます。
*2:ランタノイド | La | Ce | Pr | Nd | Pm | Sm | Eu | Gd | Tb | Dy | Ho | Er | Tm | Yb | Lu |
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*3:アクチノイド | Ac | Th | Pa | U | Np | Pu | Am | Cm | Bk | Cf | Es | Fm | Md | No | Lr |
コーティング種類代表例
炭化膜、窒化膜、酸化膜、フッ化膜の場合
金属物質を蒸発させ、反応させながら膜をコーティングする、もしくは炭化物、窒化物、酸化物材料を蒸発させて成膜することが可能です。
- 炭化膜…TiC、SiC、BC、WC、他
- 窒化膜…TiN、SiN、CrN、BN、AIN、CN、他
- 酸化膜…TiO2、SiO2、Ta2O5、Al2O3、Y2O3、他
- フッ化膜…MgF2、他
- その他…BCN、他
合金膜の場合
2つ、もしくは3つの金属材料を蒸発させて成膜する、もしくは合金材料を蒸発させて成膜できます。
- 二源蒸発…Au+Sn、Ag+Sn、他
- 合金蒸発…インコネル600、他
多くのお客様より、様々なもの(薄膜を施す対象物)へのご依頼を頂き、これにお答えしてまいりました。
その一部ではありますが、代表例を下記にまとめております。
薄膜対象物代表例
金属の場合
金属への多くはイオンプレーティング法にて成膜いたします。ただし、樹脂などが既に成膜してあり、温度を極力かけたくない場合などは蒸着にて行うこともあります。
- SUS材、Al材、Mg材、Ti材、等
樹脂・フィルムの場合
樹脂の種類や対象物の耐熱温度、表面状態などにより成膜方法を選択いたします。
- PC、PET、PEN、PI、等
セラミックスの場合
セラミックスへの多くはイオンプレーティング法にて成膜いたします。ただし、樹脂などが既に成膜して有り、温度を極力かけたくない場合などは蒸着にて行うことも有ります。
- Al2O3、SiC、AlN、ZrO2、等,
成膜例の一部を載せております。こんなふうにはできないの?こんなものにはできないの?等、気軽にお問い合わせ下さい。
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パターニング
左の写真はパターニングしたものです。Maskを設計製作し使用することで、パターニングすることが可能です。成膜対象物の材質やMask材質によっても精度は変わってきますのでお問い合わせ下さい。
厚膜コーティング
左の写真は、SEMで観察した金属膜の断面像です。
(加速電圧15KV、倍率×2000倍)
膜種や成膜する対象物の表面粗さや耐熱温度にもよりますが、厚膜は可能です。
過去の経験では、Al、Ag、Sn、Inなど単金属で、10μm以上を成膜した例も有ります。
また、Alでは20μmを超えるものもあります。酸化膜でも5μm以上の膜をコーティングした経験があります。
樹脂・フィルムへのコーティング
左の写真はフィルムに成膜したものです。
(膜種や厚みにもよりますが、曲げても剥がれたり、割れたりしません)
真空蒸着によって成膜することで、より低温での処理ができます。
膜種や厚みにもよりますが、100℃以下でのコーティングができます。PC、合成樹脂やPET、PEN、Pl等フィルムなどに成膜可能です。
その際の付着力は、樹脂の成型の仕方や表面状態、樹脂の種類などによって変わります。
立体物へのコーティング
左の写真はネジの全面(一部Mask)、段差のある面に膜を成膜したものです。
コーティングする角度や方式によって立体物への成膜が可能です。
コーティング対象物をうまく真空チャンバー内で動かすことで良好な付き廻りを得ることができます。
また、全面への成膜も可能ですので、是非お問い合せ下さい。
大面積へのコーティング
左の写真は大板ガラスに膜をコーティングしたものです。
(ガラスのサイズ:900×580)
最大で、800×1000の平面エリアに成膜できます。
この装置はインライン方式ですので、一日である程度まとまった数量を成膜できます。ただし、この装置では製品形状に制限が有りますので、お問い合せ下さい。